PRECISION CLEANING BUSINESS

OVERVIEW

半導体・電子デバイスなどの製造工程で製造装置に付着するミクロン単位の汚れを洗浄します。徹底したクリーン環境で行われる洗浄と、母材保護への配慮により部品ライフサイクルを伸ばし、お客様のQCD向上に貢献します。

DETAILED DESCRIPTION

化学反応を利用した
部品保護と付着物の
選択的除去により、
高度な精密洗浄技術を
追求しています。

精密洗浄は一般洗浄のように肉眼や感触によってその清浄度を判断できるものではなく、人間の感覚外にある精度まで追求する洗浄です。半導体製造工程などで製造装置に付着するミクロン単位の汚れや、各種金属汚染を除去します。新造装置に搭載されるユニット、配管などの洗浄も手掛けており、日々高まるクリーンニーズにお応えしています。

付着物の除去表面処理表面の微細ゴミ除去

などの専門的な洗浄業務を行っております。

業界初の全工程
クリーンルーム仕様で
行われる洗浄により、
製造装置のクリーン度
向上、生産性向上を
サポートします。

半導体・電子デバイスなど先端産業の発展に欠かせない微細化技術。その製造工程でのパーティクル、コンタミネーションの低減は品質向上に不可欠です。弊社では、クラス1000のクリーンルーム内で洗浄を行っています。また、母材保護への配慮を行い、部品ライフサイクルを伸ばすことにより、ランニングコストの低減や、環境負荷低減に寄与します。

様々な薬剤、
Cuレスラインの保有
により、
お客様の製品に
合わせた洗浄に
対応します。

酸性、アルカリ性、溶剤の3系統の薬剤を使用し、お客様の製品に合わせた洗浄を行っています。工程内には、Cu汚染防止のための完全隔離の洗浄ラインもございます。また、入退室管理システムの完備により、徹底したセキュリティ対策のもとサービスを提供しています。

【洗浄対象】
  • ◎スパッタリング装置内部部品
  • ◎CVD装置内部部品
  • ◎ドライエッチング装置内部部品
  • ◎その他各種製造装置
本事業を担当する企業